第一千零九十四章 两条路线(3/3)
年为了尝试突破193n,y特尔更倾向于激进的euv方案,于是在1997年,就攒起了一个叫euv llc的联盟。
联盟中的名字个个如雷贯耳:除了y特尔和牵头的米国能源部以外,还有托罗拉、ad、ib,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。
这些实验室绝对是米国科技发展的幕后英雄,之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向,有核武器、超级计算机、国家点火装置,甚至还有二十多种新发现的化学元素。
资金到位,技术入场,人才云集,但偏偏联盟中的米国gkj企业svg、ultratech早在80年代就被n康打得七零八落,根本烂泥扶不上墙。
于是,y特尔就想拉来n康和a斯麦一起入伙。但问题在于,这两家公司,一个来自东瀛,一个来自尼德兰,都不是本土企业。
偏偏,米国政府又将euv技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术,并不太希望外国企业参与其中,更何况那些八十年代在半导体领域压了米国风头的东瀛企业。
但euvgkj又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。别说是对小国东瀛与尼德兰,就算是米国,想要一己之力自主突破这项技术,也是痴人说梦。
米国自然不会给东瀛提供以后可能会扼住米国半导体咽喉的机会。