第229章 步进式光刻机成功！(1/3)

沈永健屏住呼吸，手中动作愈发沉稳。 特制的光学镜头被精密夹具悬吊，他不断调整着微米级的定位螺杆，直至镜筒与基座接口纹丝咬合。 “咔哒~！” 一声低低的脆响在此刻穿透车间。 物镜严丝合缝地嵌入光刻机主体。 “成了！？” 刘师傅干哑的嗓子喃喃自语道，带着污渍的手在工装裤上狠狠攥紧。 卓邵文蜡黄的脸上双眼血丝依旧，自从负责光刻机后，对方一样是这次项目研制中，投入精力最多工作时间最长的一位。 此刻目光紧盯着才组装完成的步进式光刻机，心中既兴奋又紧张。 余下众人站在数米开外，此刻同样兴奋。 沈永健当下并未着急，而是环顾这台大家伙周身，又细细检查了一圈。 这才在众人的注视下，按下了总控开关。 “嗡——！” 低沉的共振声从机箱深处传来。 汞灯的冷光霎时亮起，透过崭新的物镜在硅片承载台上投下一圈光斑。 氮气吹管嘶嘶低鸣，冷却水循环系统平稳运行。 步进电机发出精准的“嗒嗒”声，工作台沿导轨滑出流畅的直线，控制面板的指示灯不断闪烁后，最终平稳下来。 “邵文同志，先进行投影分辨率测试。” 沈永健沉稳地发出指挥，卓邵文立刻到操作台前，将校准掩膜版推入光路中。 下一刻汞灯亮度瞬间提了好几度，经过多层透镜组的聚焦，最终在投影屏上炸开一道深紫色的光锥。 而显微镜的目镜之中，0.5微米的测试线条纤毫笔直，边缘锐利。 显然，北春光电所的物镜完美达标，且这一路运来也未让这物镜有任何的磕碰偏差。 “投影分辨率测试通过！” 第一项最重要的测试通过，在场众人都悄然松了口气。 刘师傅更是咧嘴笑了起来，露出长期抽烟的黄牙，沙哑低语道。 “我就猜能过！” “这台可比咱们原先的机子亮堂多了！这光刺得我眼睛都睁不开！这要是都不通过都没天理了！” 闻言，其余同志也跟着附和起来。 沉闷凝重的场面一时间愈发缓和。 “下一项套刻精度测试。” “这测试我们轮流来吧，曹文三你今晚先顶上，邵文同志，曲嵩，张伟森，顾江河你们按次序排，直到测试完成。” 套刻精度测试也是光刻机极为重要的一项测试。 不过其测试并非孤立，更像是机器启用前的一整套初始误差建模与补偿模型组建。 相当
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