第74章 绿得让人心安(2/3)

发出极其细微的嗡鸣，EUV光束在密封光路中完成了第一次脉冲输出。

大屏幕上，各项实时参数同步跳动。

光源功率、曝光剂量、工件台位移精度、对准偏差值……

所有数据，稳如泰山，绿得让人心安。

整个过程，全自动运行。

没有任何调试卡顿，没有任何参数需要临时修正。

从光束引出到掩模版对准，从曝光窗口移动到工件台步进换场，每一个环节都衔接得天衣无缝。

车间里的所有人，都下意识地屏住了呼吸。

几十双眼睛，死死盯着大屏幕上那些稳定跳动的绿色数字。

三十秒。

一分钟。

两分钟。

整个试刻流程没有出现任何中断。

当最后一组曝光序列完成，操控台弹出“工作完成”的绿色提示时，车间里依然鸦雀无声。

没有人动。

因为所有人都明白，试刻完成，不等于成功。

真正的审判，在扫描电镜之下。

林渊启动真空释放，用真空吸笔将晶圆稳稳取下，转身走向车间东侧的扫描电镜检测区。

他的脚步不快不慢，背影沉稳。

身后，几十道滚烫的目光，紧紧追随着他。

他将晶圆送入样品仓，关闭密封舱门，启动高分辨扫描。

检测区的独立显示屏亮了起来。

几秒钟的加载后，第一张扫描电镜照片，被推送到了屏幕中央。

灰白色的成像画面中，纳米级的电路线条清晰地铺展开来。

线条均匀，边缘锐利，间距精准，没有半点毛刺，没有一处塌陷。

那些被放大到几万倍的微观结构，排列得整整齐齐，干净得近乎不真实，充满了颠覆性的工业美感。

“嘶——”

车间里，压抑的抽气声此起彼伏。

紧跟着，第二张、第三张照片接连弹出，系统自动标注的LWR数据、CDU数据、套刻精度数据，一行行跳出来。

全都是代表达标的绿色。

见状，车间里终于开始有了动静。

研究员们不由自主地长长吐出一口气，紧绷的身体松弛下来，脸上涌出难以自控的狂喜。

但没有人敢在这时放声庆祝。

临门一脚前的任何松懈，对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说，都是大忌。

而在这片压抑的喜悦中，唯有一人，脸上没有丝毫波澜。

林渊站在检测台前，视线在屏幕最后一组数据上停留片刻，随即抬手，关掉了扫描程序。

“很好。”

他说了两个字，转过身，面向屏息等待
本章还未完，请点击下一页继续阅读>>>