第29章 大家好，才是真的好！(3/4)

自然会接触到。” 林渊一句话把光源的话题收了个干净，干脆利落。 然后，他的话锋猛然一偏。 “我今天主要想跟大家聊的，是我对另外两大件的研究。” 此话一出，会议室的气氛一下子绷紧起来。 这才是重头戏。 所有人都竖起了耳朵，连呼吸都下意识地放缓了。 “先说物镜。” “传统光刻机的物镜系统，大家都清楚，本质上就是一套极端复杂的折射光学透镜组。” “几十块甚至上百块超高精度的玻璃透镜，层层堆叠，去校正像差、色差、还有各种杂七杂八的光学畸变。” “一块透镜的面形精度要求做到亚纳米级，然后再把几十块这样的透镜叠起来——这条路线的工程难度，在座的各位比我更有发言权。” 这话说得平淡，但在座搞精密仪器的人，脸上的表情都沉了下去。 因为这正是他们多年来啃不动的硬骨头。 不是不会设计。 是我们的工业基础，根本加工不出来！ 一块透镜差零点几个纳米，几十块叠在一起，误差累积，整套物镜系统直接报废。 “所以，我的研究方向不走这条路。” 林渊的话干脆到了极点。 “我研究的是——消色差超构透镜。” 消色差超构透镜？ 这个概念并不算全新，学术圈里有零星的前沿论文讨论过。 但那些讨论，无一例外停留在最基础的理论探索阶段，离实际应用隔着十万八千里。 而林渊现在说的是，他要把这个东西，用在光刻机的物镜系统上。 精密仪器所的老所长把眼镜重新架回鼻梁上，嘴唇动了一下，但没出声。 他身旁那个中年骨干已经拿起了笔，手悬在笔记本上，却一个字都写不出来。 因为林渊根本没给他们反应的时间。 他直接翻篇了。 “再说双工件台。” 他的话头转得极快。 会议室里，自动化控制所的那个精瘦中年人，身子不由自主地前倾了半寸。 “传统的双工件台系统，用的是气浮轴承加线性电机驱动，位移测量靠激光干涉仪。” “这套方案已经很成熟了，但也已经快碰到物理极限了。” “定位精度要继续往下压，靠改良现有架构，很难。” 他说得很快，三两句把背景交代完，然后话锋一收。 “因此我对工件台提出的研究方向，是磁悬浮平面电机，配合原子干涉仪绝对定位。” 又是几个专有名词，干净利落地扔了出来。
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