第424章 真的是0.1纳米的光刻机(2/3)
工在后面问。
“汇报！这个事必须立刻汇报！”古工的声音带着不容置疑的急切。
“零点一纳米的自主光刻机，这是国字号级别的突破！你继续做复测，把每一片晶圆的检测数据都记录下来，我马上去找陈副院长。”
洁净车间的门在他面前被推开了。
许锋站在门口，一只手撑着门框，另一只手里端着一杯豆浆。
他看了一眼满脸通红的古工，又看了一眼后面正从椅子上站起来的苏工，然后走进了车间。
“古工，不用去了。”
古工急了：
“许大队长，这个光刻机的精度已经达到了零点一纳米！你知道这意味着什么吗？这意味着我们在芯片制造上不仅追上了国际最先进水平，而且反超了整整一代！这个成果必须立刻上报。”
许锋把豆浆放在桌上，语气很平：
“我知道，昨晚我升级的。”
古工后半截话卡在喉咙里，他张了张嘴，又闭上，车间里安静了几秒。
“什么??你……升级的？”
苏工从检测屏幕前面站起来，脸上的表情像是听到了什么不可思议的话。
“你一个人？昨天晚上？”
“对。一台基础版样品，一套改造升级方案，一晚上。升级内容包括光学系统精度跃升、精密运动平台精度提升、曝光光源波段切换、控制系统集成人工智能自适应校正算法。”
许锋挨个报了一遍升级项目，每报一个，古工的眼角就跳一下。
“精度零点一纳米，这个数字我昨晚关机之前就看到了。”
“一个人……把一台二十五纳米的光刻机升级到了零点一纳米？”
古工摘掉老花镜，用衣角擦着镜片，说话的声音都在打颤。
“这怎么可能？你知道光是换一个曝光光源就需要至少两周的调试周期——光路对准、波长标定、曝光均匀性校准，哪个不是需要反复调试的活？”
苏工在旁边补了一句：
“精密运动平台的定位精度提升一个数量级，常规做法需要重新做整个平台的动态标定。许大队长，昨晚你一个人，到底是怎么做到的？”
许锋没有直接回答这个问题，只是看着古工：“古工，你在这个领域干了多少年了？”
“三十多年。”古工说。
“三十多年，你见过精度零点一纳米的光刻机吗？”
“没有。”
“国际上有公开报道吗？”
“没有。”
许锋端起桌上的豆浆喝了一口，然后放下杯子：
“既然没有，那这台机器
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