第223章 实验验证的核心挑战(2/5)
还包括雷打不动的日常锻炼。
虽只用了几天对设想完善，却比其他人多很多时间。
况且在多线程并行思维演算推导下，若完不成的话那才真有问题。
「你们年轻人身体就是好，我和老贺就不行喽。」丁顺安点点头微笑著打趣。
贺鹏涛接话道：「我可比你还小一岁呢。」
待互相闲谈了两句后，贺鹏涛突然面色严肃，用非常正经的语气看向徐铭，重新把话题给引到了正事上面。
「徐总师。」
「我这边已经准备妥当，随时可以开展实验。」
「微电子装备也一样。」丁顺安补充道。
徐铭听完两位院士的话，又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员，也终于不再卖关子，嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。
「那好。」
「下面我来安排具体任务。」
他这几天沉浸完善设想补充漏洞，正是为了能尽快验证极紫外光源。
只要解决了最核心的光源系统，那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。
主要高端晶片涉及到的行业实在太多，还关系著很多先进技术的更新叠代，必须用最短的时间走出困境才行。
否则较长时间待在这空窗期内，很有可能会再次被海外拉开差距。
尤其是六代机项目，好不容易才与海外站在起跑线。
既然大家都没有什么意见，他肯定也不会耽搁，话音落下后便直接安排起来O
极紫外光源被称作难以驾驭的微光，海外方面的主流技术是采用雷射激发等离子体，需要用高功率雷射，以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴，将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。
但由于过程的能量转换效率极低，要满足晶片量产所需要的曝光速度，其功率必须达到250瓦以上，这意味著输入的能量是巨大的。
除此之外整个光路还要在真空环境中进行，使得系统复杂性大幅度上涨。
再加上锡滴方案产生的碎屑，更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。
而徐铭的设想，则是对系统重新架构。
相比较主流方法的动态轰击液体锡滴，他采取了静态激发的方案。
用一束高强度和高重复频率的雷射，照射在高速旋转的光源靶盘上，如此通过等离激元耦合态理论，雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态，从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。
不但绕过了海外的专利壁垒，还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。
本章还未完，请点击下一页继续阅读>>>
